程鑫老师课题组磁控溅射阴极、直流和射频电源等采购采购公告

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接受进口

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无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1输出功率范围：10-2000W
1.2输出频率：13.56MHz
1.3输入电压： 200-480V
1.4 阻抗：50Ω
1.5 频率精度：13,56 MHz ±0,005%
1.6 输出功率精度：±1W（数字控制）±2W模拟量
1.7 抑弧功能，减少打弧，提升膜层性能
1.8 RF输出：HN female connector. 7/16 socket
1.9 Arc detection ：< 3 μs
1.10通讯接口：□ Profibus.
□ EtherCAT.
□ DeviceNet.
□ Matchbox.

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。 保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。

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技术规格及参数

2.1功率：1KW
2.2输出电压：1000V
2.3输出电流：3.3A
2.4输出频率：0-150KHz
2.5精度：±1%
2.6通讯接口：
□Remote - RS-232
□Remote - RS-485
□Remote - Profibus
□Remote - USB
□Remote - DeviceNet
□Remote - EtherCAT
□Remote - ProfiNet

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。 保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。

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技术规格及参数

3.1 平均功率：2KW
3.2 脉冲最大输出功率：500K
脉冲最大输出电流：+/- 500 A (max.) ≤ 2 kHz;
+/- 250 A (max.) ≤ 12,5 kHz;+/- 150 A (max.) ≤ 25 kHz;+/- 75 A (max.) ≤ 50 kHz
3.3 脉冲导通时间:5μs–16ms
3.4 脉冲关断时间:5μs–32ms
3.5 快速电弧检测与抑制，时间小于2μs
3.6 FPPG（自由脉冲模式控制器，最多支持8个脉冲）
3.7 冷却方式：水冷

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。 保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。

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技术规格及参数

4.1 输出功率：2 Kw
4.2 输出电压：1000 V
4.3 输出电流：2.8 A
4.4电流电压功率显示
4.5 控制方式：可控制电流、电压或功率
4.6工作模式：通过前面板手动控制，或通过控制接口外部控制
4.7设定值：针对电流、电压或功率，可设为额定值的 0...100%
4.8输出精度：针对电流、电压和功率，为额定值的 ±1%
4.9 冷却方式：风冷，内置风扇，最高环境温度 40℃

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。 保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。

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技术规格及参数

5.1可升降矩形阴极（靶面尺寸：~381mm*89mm）
5.2耐高温磁铁（耐受温度>150度）
5.3阴极最高工作温度>120度
5.4磁场均匀性优于±2%
5.5基片表面范围内镀膜优于±2%；可调气路设计满足镀膜均匀性要求
5.6阴极漏率：<1.0*10-13Pa.m3/s
5.7具备兼容直流、脉冲直流和射频溅射
5.8升降机构能够手动调节，最大可调距离为8cm，调节精度为0.5mm。

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。 保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。

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技术规格及参数

6.1输入电压24 VDC
6.2最大输出电压1900V
6.3最大输出电流60A
6.4 UDCmax = 400 V
6.5通讯接口：SystemPort
□USB
□RS232
□ECat
□RS485

质保期

质保一年

售后要求

保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。 保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。